產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高
、響應(yīng)速度快
、可靠性高
,易于集成
、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD
、PVD
、刻蝕、等離子注入
、濺射
、ITO、玻璃鍍膜
、表面處理等鍍膜工藝
。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
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。鞒谭秶鷱?開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm