。這些傳感器的三維微機械結(jié)構(gòu)包括由單晶硅的鐘擺，這是氣密地封閉兩個硅板之間。這導(dǎo)致了長期穩(wěn)定的，高分辨率，耐沖擊傳感器，一個氣體阻尼元件防止過沖和干擾共振振蕩。鐘擺運動由一個ASIC測量電容。

   x軸加速度傳感器KAS804-04：該傳感器基于一項所述的先進的“散裝微加工技術(shù)”

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   z軸加速度傳感器KAS804-05：該傳感器基于一項所述的先進的“散裝微加工技術(shù)”。

   XY軸加速度計KAS804-54/-55：該傳感器基于一項所述的先進的“散裝微加工技術(shù)”

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KELAG加速度傳感器 KAS901系列
Spezifikation / Technische Daten：
Parameter	Bedingungen	KAS901-41	KAS901-42	Einheit
Messbereich		+/- 15	+/- 30	°
Wiederholbarkeit bei 0°	20°C, typ.	0,01	0,01	°
Auflösung	0°, 20°C, typ.	<0,001	0,001	°
Rauschen	0°, 20°C, typ.	0,0004	0,0004	°/√Hz
typischer Temperaturkoeffizient	23…70°C	0,0015	TBA	°/ °C
	-22…+23°C	0,0023	TBA	° / °C
Langzeitstabilität	10 Jahre	0,036	0,036	°
Messrichtung		Horizontal	Horizontal
Querempfindlichkeit	maximal	4	4	*
Dämpfung (v. Vibrationen)	-3 dB	18	18	Hz
Arbeitstemperaturbereich		-30... +85	-30... +85	°C
Schockfestigkeit Messelement		20’000	20’000	g
Ausgangssignal Vout	Nominal	-4…+4V	-4…+4V	V
Ausgangssignal in 0° Position	Nominal	0	0	V
Messempfindlichkeit 0° Position	Nominal	0,279,2	0,139,6	V/°
Speisung		7... 36	7... 36	VDC
PVC-Kabel geschirmt	Nominal	1	1	m