、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459

 

美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介：

光刻方式：接近式

，軟，硬，真空接觸式

曝光距離：0-3000μm

間隙調(diào)節(jié)步進(jìn)：1um

機械精度：1.5um

光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um

 

美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術(shù)規(guī)格：

光刻方式：接近式

，軟，硬，真空接觸式

基底尺寸：2-12寸晶圓或者*大200mm方形

曝光分辨率：

真空接觸:0.5-0.8um

硬接觸:0.8-1.0um

軟接觸:1.0-3.0um

接近式(20um 間隙):3.0um

曝光均勻性：優(yōu)于±3*

對準(zhǔn)精度：頂面0.5um

，底面1.0um（選件）

產(chǎn)量：180片/小時*大

 

我們的宗旨：信義為根

，嚴(yán)謹(jǐn)為本，凝心聚力，行思行遠(yuǎn)

我們的管理：張弛有度

，目標(biāo)*

我們的團(tuán)隊：****，隊堅勢盛

我們的服務(wù)：掌握市場動態(tài)

，傾聽客戶需求

我們的價格：同等質(zhì)量比價格,同等價格比質(zhì)量,同質(zhì)同價比服務(wù)