包括單通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、多通道轉(zhuǎn)子流量計(jì)、氣體質(zhì)量流量計(jì)、液體體積流量計(jì)和體積流量計(jì)、渦街/渦輪流量計(jì)等。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理

　　通過層流裝置及毛細(xì)管、傳感器共同組成熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量核心，即使環(huán)境溫度改變，仍能保證其測(cè)量精度。與測(cè)定體積型的流量計(jì)相反，熱式質(zhì)量流量計(jì)不需要附帶溫度和壓力感應(yīng)器就能正確測(cè)量流量。這就意味著裝置的簡(jiǎn)單和費(fèi)用的節(jié)約

　　層流元件

　　**產(chǎn)品層流組件是一個(gè)蝕刻有流量通槽的高精密度的不銹鋼的圓盤。每個(gè)蝕刻流量通槽和感應(yīng)器管是相對(duì)應(yīng)的，并且每個(gè)圓盤表示一個(gè)固定的流量容量;若干圓盤被堆積在一起就組成層流裝置